【金沙集团网址】这项技术将会成为提高3DNANDFLASH竞争力的关键

CellonPeripheralCircuit（以下全称CellonPeri）结构由美光（Micron）与英特尔（Intel）阵营研发，使用将3DNANDFlash晶胞（Cell）数组堆栈在外围电路CMOS逻辑IC上的方式，以削减采行3DNANDFlash解决方案的芯片面积。DIGITIMESResearch仔细观察，三星电子（SamsungElectronics）已明确提出类似于此一结构的COP（CellOverPeri）方案，将不利统合组件厂（IntegratedDeviceManufacturer；IDM）三星、东芝（Toshiba）提高其3DNANDFlash竞争力。　　然而，CellonPeri结构将原本在有所不同制程制作的3DNANDFlash与逻辑电路融合于单一制程，虽有其优点，但仅存诸多课题，还包括涉及产线与设备须要伸延、不断扩大，将造成业者的资本开支减少，且3DNANDFlash经高温制程后，惧因高温而毁坏下方CMOS电路，将影响良率。　　由于三星同时生产3DNANDFlash与逻辑电路，如CellonPeri结构能克服良率与成本等问题，有望沦为其谋求苹果（Apple）应用于处理器（ApplicationProcessor；AP）订单的优势，而东芝半导体事业涵括3DNANDFlash与系统LSI，美光与英特尔阵营均可融合双方3DNANDFlash与CPU，运用CellonPeri结构，有助其提高3DNANDFlash竞争力。

　　另外，3DNANDFlash若引入CellonPeri结构，由于在构成外围区域后，须要经过化学机械研磨（ChemicalMechanicalPolishing；CMP）制程使之平缓化，才能于其上构成3DNANDFlash晶胞数组，将使得CMP制程的重要性提升。　　CellonPeri结构不利采行3DNANDFlash解决方案削减芯片面积　　CellonPeri系由美光与英特尔阵营所研发，其与PeriunderCell是完全相同概念，意味再行构成外围（Peripheral）区域后，再行堆栈晶胞，也就是运用将3DNANDFlash晶胞数组堆栈在外围电路CMOS逻辑IC上的方式，削减采行3DNANDFlash解决方案的芯片面积。

　　明确而言，CellonPeri结构将字符线译码电路与感测放大器（SenseAmplifier）电路置放下层，且将3DNANDFlash晶胞数组置放上层。　　为此，CellonPeri结构须要减少大约4层的金属配线，其中2层金属配线位在3DNANDFlash晶胞数组下方，用来链接上方3DNANDFlash晶胞数组及下方CMOS电路。　　至于另2层金属配线，则在3DNANDFlash晶胞数组上方，分别为位线与电源总线（Bus）。

　　美光与英特尔阵营于3DNANDFlash所研发的CellonPeri结构　　　　数据源：美光、英特尔、南韩NH投资证券　　换回个方式比喻，CellonPeri结构如同将商店街设在住宅下方的住商混合大楼，不利于节省土地面积，反观既有结构则如同住宅与商业用途各自分离的两栋大楼，须要较小土地面积。　　CellonPeri结构不利采行3DNANDFlash解决方案削减芯片面积示意图　　　　数据源：南韩NH投资证券　　由于外围区域占到整体3DNANDFlash大约30%面积，将3DNANDFlash晶胞数组堆栈在外围电路之上，有助使用3DNANDFlash解决方案削减芯片面积。

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